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高纯气体管道系统的配管及材质要求

高纯气体管道系统的配管及材质要求

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  • 发布时间：2024-11-05
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【概要描述】高纯气体管道系统的配管及材质要求极为严格，涉及多个方面的要求和注意事项。通过合理的管道布局、选择合适的管道材料、加强材料检验与测试、严格控制清洁度以及设置清晰的标识和记录系统等措施，可以确保高纯气体在输送过程中的纯度和质量不受影响。

高纯气体管道系统的配管及材质要求

【概要描述】高纯气体管道系统的配管及材质要求极为严格，涉及多个方面的要求和注意事项。通过合理的管道布局、选择合适的管道材料、加强材料检验与测试、严格控制清洁度以及设置清晰的标识和记录系统等措施，可以确保高纯气体在输送过程中的纯度和质量不受影响。

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高纯气体管道系统的配管及材质要求极为严格，以确保气体的纯度和质量在输送过程中不受影响。以下是球盟会官网入口未来对该系统的配管及材质要求的详细分析：

一、配管要求

  1. 管道布局：

    • 根据不同特性的气体，规划独立的供应区域，如腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区。可燃性气体区应特别规划防爆墙与泄漏口。
    • 管路设计需考虑输送距离，合理设计流速，通常较合理的设计流速为20ml/s，可燃性气体小于10ml/s，毒性/腐蚀性气体小于8ml/s。
    • 管网不宜过大或过长，宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续排放少量气体，避免“死空间”引起气体污染。
    • 管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，储气瓶与用气设备间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置，确保供气系统安全可靠运行。

  2. 系统设计与用气设备：

    • 对高纯气体纯度要求不同的用气设备，应采用分等级高纯气体输送系统或在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
    • 在亚微米级的集成电路生产中，应设置末端纯化装置或高精度气体过滤器，确保气体中的杂质含量控制在规定范围内。

二、材质要求

  1. 基本原则：

    • 管道材料必须能够承受预期的工作压力和温度，具有良好的耐腐蚀性和耐磨损性，以防止泄漏或爆炸事故。
    • 材料应具有良好的长期稳定性，能够在各种环境条件下保持其物理和化学性能。
    • 对于输送高纯气体的管道，材料必须具有极低的渗透性和吸附性，以确保气体的纯度和质量。

  2. 具体材质选择：

    • 无缝钢管：适用于纯度在99.99%以内的气体管道，如10#或20#无缝钢管（内表面镀锌或纯化处理）。
    • 不锈钢管：
      • 总杂质含量≤10-100ppm的气体管道，可采用304不锈钢光亮退火管（304BA）或304不锈钢纯化处理（304AP）。
      • 总杂质含量≤1-10ppm的气体管道，可采用316L不锈钢光亮退火管（316LBA）或304不锈钢电抛光管（304EP）。
      • 总杂质含量≤1ppm的高纯气体管道，必须采用316L不锈钢电抛光管（316LEP）。这种材料具有极高的洁净度和极低的渗透性，是输送高纯气体的理想选择。
    • 铜管：通常用于气体管路的末端和气体纯度要求不是非常严格的场合（如通风柜），但相对于不锈钢而言，其耐腐蚀性和洁净度稍逊。

  3. 连接材料：

    • 镀锌管道可采用螺纹连接；不锈钢管道则常采用焊接连接，包括对接焊、承插焊或套管焊接等。焊接时应采用高纯氩气保护焊，并在专用的洁净室内进行。

三、其他注意事项

  1. 材料检验与测试：所有管道材料在使用前必须经过严格的检验和测试，以确保其符合相关标准和设计要求。
  2. 清洁度控制：在管道安装过程中，应严格控制清洁度，防止杂质进入管道系统。对于高纯气体管道，还应采用特殊的清洁方法和设备进行清洁处理。
  3. 标识与记录：管道系统应设置清晰的标识和记录系统，以便于维护和管理。

 

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